Michell Instruments GmbH

Der LD8000-Plus bietet eine Ansprechzeit von 60 Sekunden und Funktionen wie eine Bypass-Probenflusskontrolle.

Bild: Michell

Hochreine Gase in der Elektronik Stickstoffspuren bis 0,1 ppb erfassen

16.05.2022

Um auch geringste Mengen von Stickstoff in Argon und Helium detektieren zu können, hat LDetek seinen Analysator LD8000-Plus weiter verbessert. Die Nachweisgrenze liegt jetzt bei 0,1 ppb. Speziell in der Halbleiterindustrie soll das Gerät seine Vorteile ausspielen.

Hochreine Gase sind für zahlreiche Anwendungen in der Halbleiter- und Elektronikindustrie unerlässlich. Für die Detektion von Stickstoff stellt LDetek jetzt seinen weiterentwickelten LD8000-Plus vor. Der Analysator basiert auf dem patentierten Plasma-Emissionsdetektor (PED) des Unternehmens.

Die Ansprechzeit des LD8000-Plus liegt bei 60 Sekunden. Sie wird erreicht, indem Interferenzen und Temperaturdrift durch die kontinuierliche Differenzmessung zwischen Messgas und stickstofffreiem Referenzgas auf ein Minimum reduziert werden. Das macht den Analysator zu einer effektiven Option, um Spurenstickstoff im Sub-ppb-Bereich zu messen.

Hinzu kommen verbesserte Vakuumbedingungen sowie eine Beschichtung der Gasleitung, um Verschmutzungen und eine Absorption der Oberfläche zu verhindern. Weitere Merkmale umfassen eine Bypass-Probenflusskontrolle zur Sicherstellung hoher Reinheit, einen geringen Messgasverbrauch und einen integrierten Bootloader für ein Software-Update über Ethernet.

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