Pfeiffer Vacuum hat die neue Turbopumpe HiPace 2800 IT vorgestellt, die speziell für Ionenimplantationsprozesse konzipiert wurde. Ihre Rotorkonstruktion führt zu einem optimierten Saugvermögen für leichte Gase, was eine sehr gute Prozessanpassung für Ionenimplantationsprozesse ermöglichen soll, bei denen insbesondere Wasserstoff entsteht. Mit einem Saugvermögen von 2.600 l/s ist die neue Turbopumpe laut Hersteller die beste ihrer Klasse.
Robuste Hybridlager-Bauweise
Das intelligente Temperaturmanagementsystem soll Prozesskondensation und -ablagerungen innerhalb des Pumpsystems verhindern. Mit ihm lässt sich auch die Temperatur individuell einstellen, um den Prozess optimal zu unterstützen. Die spezielle Beschichtung des Rotors gewährleistet dabei die Beständigkeit gegenüber allen Materialien für Ionenimplantationsprozesse.
Basierend auf einem sogenannten Hybridlager, einer Kombination aus Keramikkugellagern auf der Vorvakuumseite und permanentmagnetischen Radiallagern auf der Hochvakuumseite, zeichnet sich die Turbopumpe durch eine sehr robuste Lagerausführung aus. Zusammen mit der speziellen Rotorbeschichtung begegnet das einer langen Prozesslebensdauer und Zuverlässigkeit.
