Eine hohe Reinheit ist essenziell in der Halbleiter- und Batteriefertigung. Da diese Technologien immer mehr Leistung bringen müssen, und dass bei möglichst kleiner Größe, werden sie empfindlicher. Somit steigen auch die Anforderungen an die Produktionsumgebungen, welche durch die Komination von Trocken- und Reinraum erzielt werden. Doch nicht alle Maschinenkomponenten halten diesen anspruchsvollen Umgebungsbedingungen stand.
„Im Trockenreinraum haben viele Systeme eine kurze Lebensdauer und müssen nach zwei bis drei Monaten ausgetauscht werden“, erklärt Kira Weller, Produktmanagerin e-Ketten bei Igus. „Besonders die Partikelemission kann wegen der Trockenheit stark zunehmen, da die Materialien oft nicht für die Trockenheit ausgelegt sind und spröde werden.“ Aus diesem Grund hat Igus das Portfolio der reinraumtauglichen Energieketten wie die E-skin soft, E-skin flat und E6 in dieser trockenen Umgebung getestet. „Gemeinsam mit dem Fraunhofer IPA haben wir nun zwei neuartige Zertifikate entwickelt, welche die Langlebigkeit und Reinheit dieser e-Kettenin einer trockenen Umgebung mit einer relativen Luftfeuchte von unter einem Prozent verifizieren“, so Kira Weller.
Hohe Reinheit über 10 Monate und 15 Millionen Doppelhübe
Die zwei neuartigen Zertifikate sind unterteilt in „Pre-aging“ und „Aging behavior“. Für das „Aging-behaviour“-Zertifikat wurden zwei der Energieführungssysteme, E6.J und das E-skin-flat-System, über einen Zeitraum von 10 Monaten im Trockenraum getestet. Dabei absolvierten sie über 15 Millionen Doppelhübe. Alle zwei Monate wurden die Systeme auf ihre ISO Klasse untersucht und zertifiziert. Die E-skin flat überstand die Doppelhübe problemlos und erhielt die bestmögliche Zertifizierung der ISO Klasse 4. Eine höhere Zertifizierung ist nicht möglich, da die Testumgebung (Trockenreinraum der ISO Klasse 3 mit einer relativen Feuchtigkeit von unter einem Prozent, entsprechend einem Taupunkt von -40 °C) dies nicht erlaubt. Auch die E6.J konnte dieses Ergebnis über 4 Monate halten, schloss jedoch am Ende mit ISO Klasse 5 ab, was für die Batteriefertigung ein sehr gutes Ergebnis ist.
Das „Pre-aging“-Zertifikat, das für die Energieführungssysteme E-skin soft und Easy chain E14 beauftragt wurde, zertifiziert die Systeme nach 15 Millionen Doppelhüben und 10 Monaten im Trockenraum. Auch hier erhielten die Igus e-Ketten die bestmögliche Zertifizierung ISO Klasse 4. Dank dieser Langzeitstudien und Zertifizierungen des Fraunhofer IPA konnte Igus bestätigen, dass die Energieführungssysteme eine sehr geringe Partikelemission aufweisen und somit für die Automatisierung im Trockenreinraum sicher sind.
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