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Die Halbleitertechnologie boomt, die Fertigung wird immer komplexer. Die Folge: Die Hersteller wünschen sich kompakte Systemlösungen für ihre Anlagenkomponenten.

Bild: Gemü Gebr. Müller Apparatebau

Geschäftssegment Semiconductor (Promotion) Kompakt und anwenderspezifisch

01.06.2018

Die Herstellung leistungsfähiger Mikrochips ist komplex und anspruchsvoll: Deshalb greifen Anlagenbauer auf kundenspezifische Systemlösungen, die sich in die Anlage anforderungsgerecht integrieren lassen, zurück. Die aufgebaute Kompetenz und Erfahrung im Bereich Halbleiterherstellung möchte Gemü in Zukunft in einem Business Segment bündeln.

Smartphones, Smartwatches, Fitnesstracker, Sensoren und intelligente Fahrassistenzsysteme sind allgegenwärtig: Die Halbleitertechnologie ist aus unserer Welt nicht mehr wegzudenken. Mit zunehmendem technischem Fortschritt der Halbleitertechnologie haben die Komplexität und die Standards der Halbleiterfertigung deutlich zugenommen. Jede einzelne Komponente spielt in der Anlage eine signifikante Rolle und ist ein integrativer Teil des gesamten Systems.

„Um die steigende Komplexität zu beherrschen, greifen Anlagenbauer bei der Integration von Komponenten und Sub-Systemen auf Lieferanten zurück, die eine Systemleistung liefern können“, weiß Burkhard Müller, Leiter des Business Segments Semiconductor. „Und diese Aufgabe hat sich unser Bereich auf die Fahne geschrieben.“

Das Business Segment fokussiert sich auf Kunden der Halbleiterindustrie und berücksichtigt die speziellen Anforderungen des Maschinen- und Anlagenbaus in der Halbleiterfertigung. Das Spektrum der Komponenten und Systemlösungen reicht vom Einsatz in Prozessgeräten – insbesondere zum Reinigen, Beschichten und Ätzen der Siliziumscheiben – bis hin zum Einsatz in Misch- und Versorgungsmodulen der Chemie-, Reinstwasser und Lösemittel-Versorgung einer Halbleiterfabrik. Auch in den Feldern wie Solarindustrie, LED-Herstellung, Flat-Panel-Herstellung, Analytik, Pharma, Food, Chemie und Feinchemie sowie Energiespeicherherstellung finden die Komponenten von Gemü Anwendung.

Kompakte und multifunktionale Systemlösungen

Für Kunden sind die Lebensdauer, chemische und thermische Beständigkeit sowie Partikelfreiheit der Komponenten wichtige Basisfaktoren. „Einen echten Wettbewerbsvorteil erhalten unsere Kunden durch modulare Konzepte und die Vergrößerung der Funktionalitäten der einzelnen Baugruppen“, weiß Burkhard Müller.
Der Maschinen- und Anlagebau für den Prozessbereich hat spezielle Anforderungen in Bezug auf Dimension und Funktionsumfang der einzelnen Einheiten der Anlage - für diese sind die modularen Konzepte und Systemlösungen von Gemü besonders interessant.

Multifunktionale Mehrwege-Ventilblöcke fassen anwendungsspezifische Anforderungen zur Steuerung von Flüssigkeiten auf engstem Raum zusammen: Mischen, Teilen, Leiten, Entleeren, Zuführen oder Reinigen wird in ein und demselben Block möglich. Darüber hinaus kann durch die Integration von Sensoren, beispielsweise Druck- und Temperatursensoren, und weiterer funktionaler Baugruppen, wie zum Beispiel Rückschlagventilen, das Funktionsspektrum der Mehrwege-Ventilblöcke individuell erweitert werden. Dies gilt ebenso für die Integration von Filtern, Behälter-, Prozessbecken- und Anlagengehäusewandungen.

Modulares Baukastensystem für mehr Effizienz

Durch das modulare Baukastensystem und die Einbindung von vielfältigen Funktionen erzielen Kunden einen optimalen Footprint ihrer Anlage. Für Anlagenbetreiber ist dies ein wesentlicher Punkt: So können sie ihre Reinraumgröße und die Betriebskosten ihrer Reinräume optimieren.

Auch die Anlagenbauer selbst profitieren vom Baukastensystem, welches je nach Anforderung eine individuell angepasste Kundenlösung ermöglicht und gleichzeitig die Effizienz der Produktion sicherstellt. Die flexible Bauweise und der Vorteil, nur eine Baugruppe bestellen und handhaben zu müssen, reduzieren nicht nur den administrativen und logistischen Aufwand, sondern vor allem auch den Montageaufwand. Komplizierte Verrohrungen mit Ventilen, Fittings und Sensoren werden durch Blocklösungen vereinfacht. Die Baugruppen beinhalten bereits alle nötigen Komponenten für die Montage.

Ventilblock als Kopierschutz für Anlagenbauer

Ganz nebenbei leisten die kundenspezifischen Ventilblocklösungen einen Beitrag zum Know-how- und Kopierschutz für die Anlagenbauer. In Know-how-intensiven Bereichen wie Prozessequipment-Anlagebau ist dieses Thema angesichts des steigenden Wettbewerbs aktueller denn je. Das Business Segment Semiconductor möchte damit nicht nur die Kunden bei der Realisierung ihrer Ideen unterstützen, sondern auch einen aktiven Beitrag zum Schutz geistigen Eigentums leisten.

Bildergalerie

  • Nicht nur Anlagenbauer profitieren vom modularem Baukastensystem und multifunktionellem Blockdesign – auch Anlagenbetreiber optimieren so die Größe ihrer Reinräume und folglich ihre Betriebskosten.

    Bild: Gemü Gebr. Müller Apparatebau

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