Die Sensoren ermöglichen hochpräzise industrielle Abstandmessung, eine genaue Dickenmessung und Abstandsmessungen mit Pikometer-Auflösung im Vakuum.

Bild: Micro-Epsilon

Nanometergenaue Werte ermitteln Weißlicht-Interferometer zur Abstands- und Dickenmessung

13.10.2020

Die Sensoren ermöglichen stabile Messergebnisse mit einer Sub-Nanometerauflösung und verfügen über einen vergleichsweise großen Messbereich und Grundabstand. Micro-Epsilon bieter die Interferometer in drei Serien an.

Die Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon sind industrietauglich und erzielen stabile Messergebnisse. Die interferoMeter bestehen aus einem Controller, einem Sensor und einem Lichtleiterkabel. Die Sensoren wurden für industrielle Messaufgaben entwickelt und sind mit robusten Metallgehäusen und flexiblen Kabeln ausgestattet.

Über zahlreiche analoge und digitale Schnittstellen wie Ethernet und EtherCAT ist eine einfache Anbindung möglich. Die Konfiguration erfolgt über ein benutzerfreundliches Webinterface für Inbetriebnahme und Parametrierung.

Drei Ausführungen für verschiedene Anwendungen

Zur Dickenmessung von dünnen, transparenten Materialien wird das hochgenaue IMS5400-TH eingesetzt. Ein Sensor erfasst die Messwerte unabhängig vom Abstand zum Messobjekt, wodurch Flattern oder Positionierunregelmäßigkeiten ignoriert werden können. Dank der nah-infraroten Lichtquelle können auch Dickenmessungen von anti-reflexbeschichtetem Glas durchgeführt werden.

Industrielle Abstandsmessungen erfolgen mit dem System IMS5400-DS, das absolute Messwerte liefert und auch Stufen und Kanten zuverlässig und ohne Signalverlust erfasst.

Das IMS5600-DS ist für Abstandsmessungen im Reinraum und im Vakuum (bis UHV) konzipiert. Ein Sonderabgleich des Controllers ermöglicht eine Sub-Nanometer-Auflösung und eine Linearität von < ±10 nm, die beispielsweise bei der Wafer-Ausrichtung oder bei der Stagepositionierung erforderlich ist.

Eigenschaften der Weißlicht-Interferometer:

  • Genauigkeit bis in den Sub-Nanometerbereich

  • Robuste und industrietaugliche Bauweise

  • Absolute Abstandsmessung

  • Abstandsunabhängige Dickenmessung

  • Hohe Signalstabilität

  • Vakuumtaugliche Sensoren und Kabel

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