Flächenlichtmodulatoren bestehend aus Arrays von Mikrospiegeln auf Halbleiterchips.

Bild: Fraunhofer IPMS

Optische Mikrosysteme Hochauflösende Lichtsteuerung

21.04.2022

Optische Mikrosysteme sind Wegbereiter des Lichts: Die photonischen Systeme des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme IPMS modulieren mittels kleiner auslenkbarer Spiegel das Licht und erzeugen so einzigartige Bilder und Strukturen.

Das Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme IPMS entwickelt Flächenlichtmodulatoren mit bis zu mehreren Millionen Spiegeln auf einem Halbleiterchip. Hauptanwendungsgebiete liegen in den Bereichen Mikrolithographie im tiefen Ultraviolett-Bereich, Herstellung von Leiterplatten (PCB), Halbleiterinspektion und -messtechnik sowie in der Adaptiven Optik, Astronomie, Holografie und Mikroskopie. Derzeit ist das Fraunhofer IPMS mit den Entwicklungen in diesem Bereich weltweit führend.

Neuste Entwicklung des Fraunhofer IPMS ist ein CMOS-integriertes Mikrospiegelarray mit zwei Kippachsen pro Spiegel und zugehöriger Technologieplattform

Neben dem Einsatz in der Halbleiterindustrie ermöglicht die Innovation neuartige Methoden der Bildgebung in der Mikroskopie, vor allem für biomedizinische Anwendungen. Realisiert werden Letztgenannte in Zusammenarbeit mit dem Projektzentrum „Mikroelektronische und Optische Systeme für die Biomedizin“ MEOS innerhalb des Fraunhofer IPMS.

Fraunhofer IPMS auf der Laser – World of Photonics - in München

Auf der 25. Weltleitmesse für Komponenten, Systeme und Anwendungen der Photonik – der LASER – World of Photonics – in München können sich die Besucher vom 26. bis 29. April über die neuesten Entwicklungen des Fraunhofer IPMS informieren.

„Eines unserer Ausstellungstücke ist der 2-Achsen-Kippspiegeldemonstrator, welcher unter anderem in der optischen Strahlführung angewandt werden kann. Generell werden die Mikrospiegel der IPMS-Flächenlichtmodulatoren je nach Anwendung einzeln gekippt oder vertikal ausgelenkt, sodass Oberflächenmuster - zum Beispiel zur Erzeugung definierter Strukturen – entstehen“, erklärt Dr. Michael Wagner, Leiter des Geschäftsfelds Spatial Light Modulators (SLM) am Fraunhofer IPMS.

„Anhand der Kippspiegel-Makromodelle können Besucher zudem die Mikrospiegel der Flächenlichtmodulatoren anhand eines großen Modells selbst bewegen und dabei einen Eindruck gewinnen, welche Auslenkfunktionalitäten möglich sind“, fährt Dr. Wagner fort.

Der Ausstellungsstand des Fraunhofer IPMS befindet sich am Stand B4.239

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