Sensoren mit MEMS-Dampfzelle Die Quantensensoren kommen

Das FBH arbeitet an einem mikro-integrierten Sensorkopf. Das physikalische Paket wird auf einer 3D-gedruckten Keramikbank montiert.

09.10.2023

Atomare Quantensensoren basieren auf den Grundsätzen der Quantenmechanik und bieten eine unvergleichliche Präzision und Empfindlichkeit bei der Messung physikalischer Größen. Diese Sensoren finden vielfältige Anwendung in der Navigation, bei Zeit- und Temperaturmessungen sowie bei der Detektion von Gravitations- und elektromagnetischen Feldern.

MyoQuant ist ein gemeinsames Projekt des Ferdinand-Braun-Instituts (FBH) und der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) in Berlin. Das Ziel besteht in der Entwicklung eines tragbaren, optisch gepumpten Magnetometers (OPM) für die Magnetomyographie (MMG), eine nicht-invasive Methode zur Messung der menschlichen Muskelaktivität. Um medizinische Relevanz zu erreichen, muss der Sensor Empfindlichkeiten im sub-pT-Bereich unter Bedingungen erreichen, die mit der klinischen Umgebung kompatibel sind.

Im Hinblick auf die Miniaturisierung arbeitet das FBH an einem mikro-integrierten Sensorkopf. Das physikalische Paket wird auf einer 3D-gedruckten Keramikbank montiert. Sobald der kompakte Demonstrator funktionsfähig ist, wird er an einem Muskelphantom in einer magnetisch abgeschirmten Umgebung getestet. Zusätzlich soll eine gradiometrische Sensorkonfiguration für Anwendungen in nicht abgeschirmten Umgebungen getestet werden. Darüber hinaus werden zukünftige Sensor-Iterationen mit selbst hergestellten MEMS-Dampfzellen ausgestattet, wie die Abbildung zeigt. Zu diesem Zweck werden derzeit die Techniken des reaktiven Ionenätzens und des Waferbondings für die Mikrofabrikation von MEMS-Alkalidampfzellen im Wafermaßstab optimiert.

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