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Energieeffizienz EU PVSEC 2013

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03.09.2013

3D-Micromac stellt das nach eigenen Angaben weltweit erste Maschinenkonzept vor, das sämtliche Strukturierungsschritte zur integrierten Serienverschaltung bei Dünnschichtmodulen auf einer Plattform und in einem Produktionsschritt vereint.

Das neue One-Stop-Patterning-Verfahren (OSP) strukturiert die Module erst, wenn sämtliche funktionellen Schichten auf dem Substrat abgeschieden sind.

Stand 2/A8

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