3D-Micromac stellt das nach eigenen Angaben weltweit erste Maschinenkonzept vor, das sämtliche Strukturierungsschritte zur integrierten Serienverschaltung bei Dünnschichtmodulen auf einer Plattform und in einem Produktionsschritt vereint.
Das neue One-Stop-Patterning-Verfahren (OSP) strukturiert die Module erst, wenn sämtliche funktionellen Schichten auf dem Substrat abgeschieden sind.
Stand 2/A8
