News Pfeiffer Vacuum: Wälzkolbenpumpen

21.02.2013

Der Trockenläufer A 100 L mit kompakten Abmessungen wurde speziell zur flexiblen Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt. Diese ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen. Trotz ihrer geringen Abmessungen bieten diese Pumpen ein hohes Saugvermögen und kurze Abpumpzeiten. Die Weiterentwicklung A 100 L ES verbraucht zudem bis zu 50Prozent weniger Energie.

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