300-mm-Dünnwafer Infineon startet Volumenproduktion von Leistungs-ICs

Jochen Hanebeck, President der Automotive Division von Infineon Technologies

Bild: Infineon Technologies
19.05.2015

Infineon Technologies hat nach eigenen Angaben als weltweit erstes Halbleiterunternehmen mit der Volumenproduktion von Leistungshalbleitern für Automobilanwendungen auf 300-Millimeter-Dünnwafern begonnen. Die erste Produktfamilie ist OptiMOS 5 in 40-V-Varianten. Infineon fertigt diese Chips im österreichischen Villach.

„Mit Leistungshalbleitern auf 300-Millimeter-Dünnwafern fürs Auto stärken wir unsere Technologie- und Marktführerschaft“, so Jochen Hanebeck, President der Automotive Division von Infineon Technologies. „Infineon wird für Automobilanwendungen leistungsstarke MOSFETs in hoher Stückzahl und zu wettbewerbsfähigen Preisen liefern. Unsere Automobilkunden profitieren von Liefersicherheit und unserer langfristigen Produktivitäts-Roadmap der 300-Millimeter-Fertigungslinie.“

Die 300-Millimeter-Dünnwafertechnologie des Unternehmens ist die Grundlage zur weiteren Verbesserung der Leistungsfähigkeit zukünftiger MOSFET-Generationen für Automobilanwendungen: Sie senkt die Leistungsverluste und ermöglicht kompakte MOSFET-Designs, die Systemeffizienz und Leistungsdichte erhöhen. Die 300-Millimeter-Wafer werden auf 60 µm (0,06 mm) gedünnt und damit gehören OptiMOS-5-Leistungshalbleiter zu den weltweit dünnsten ihrer Art. Zum Vergleich: Ein Blatt Standard-Schreibpapier ist etwa 110 µm (0,11 mm) dünn.

Im Vergleich zum 200-Millimeter-Wafer ist der Durchmesser eines 300-Millimeter-Wafers um 50 Prozent größer. Dadurch lassen sich auf einem 300-Millimeter-Wafer rund zweieinhalbmal so viele Chips fertigen.

Infineon beginnt sein Produktportfolio OptiMOS 5 mit 40-V-Varianten im kleinen S308-Gehäuse (TSDSON-8) mit Abmessungen von nur 3,3 mm x 3,3 mm. Verglichen mit ihrer Vorgängergeneration sollen die 40-V-Varianten der OptiMOS-5-Produkte einen um 40 Prozent geringeren Einschaltwiderstand RDS(on) und weniger Leistungsverluste haben. Darüber hinaus ist ihre Figure of Merit RDS(on)xQ g um 35 Prozent geringer, wodurch sich ihr Schaltverhalten noch weiter verbessert, so Infineon. Damit bieten die OptiMOS-5-40-V-Produkte eine sehr hohe Leistungsdichte und Energieeffizienz für eine Vielzahl von BLDC- und Halbbrücken-Anwendungen im Fahrzeug. Dazu gehören z. bB. elektrische Fensterheber, Schiebedach, Türverriegelung, Benzinpumpe sowie Magnetventile und schnell schaltende DC/DC-Wandler.

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