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Der Trolleypullator von Turbodynamics transportiert Probecards in der Halbleiterindustrie. Bild: Rollon
Lineartechnik

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Transportieren im Reinraum

Text: Rollon
Die Firma Turbodynamics hat ein mobiles Gestell für eine sichere Handhabung entwickelt.

Wissen Sie, was ein Trolleypullator ist? Man benötigt ihn für Probecards. Probecards sind die Schnittstelle zwischen einem elektronischen Testsystem und Wafern. „Sie machen es möglich, die Schaltungen auf den Wafern zu überprüfen“, erläutert Bernd Niess, Produktmanager bei Turbodynamics. Bisher holte ein Bediener die Prüfadapter im Hochregal ab, trug sie zum Einsatzort und platzierte sie per Hand in der Mitte einer Prüfanlage. Dafür sind sie mittlerweile zu groß und schwer – und auch zu kostbar. „Die Anschaffungskosten liegen im sechsstelligen Bereich“, so Niess. Für das Handling hat Turbodynamics ein halbautomatisches Gefährt entwickelt: Das mobile Gestell auf Rädern ist am oberen Ende mit einem höhenverstellbaren Auszug versehen. Am Ende dieses Auszugs ist ein Greifer montiert; mit seiner Hilfe lässt sich die Probecard aufnehmen und für die Dauer des Transports sicher verriegeln. Das ist ein Trolleypullator .

Laufruhe bei schweren Lasten

Der Auszug selbst ist ein elementarer Bestandteil des mobilen Geräts und muss entsprechend zuverlässig funktionieren – auch bei hohen Traglasten und einer relativ großen Kraglänge von 900 mm. Auf der Suche nach der richtigen Schienenführung wandten sich die Entwickler von Turbodynamics an Rollon. Die Wahl fiel auf eine doppelte Teleskopschiene der Baureihe DSD 28-0530 NIC, die in beide Richtungen verfahren kann. Sie zeichnet sich durch hohe Tragzahl sowie ruhigen und präzisen Lauf aus. Der Vollauszug besteht aus zwei Führungsschienen als festes und bewegliches Element sowie einem S-förmigen Zwischenelement. Dieses hat ein hohes Flächenträgheitsmoment und eine hohe Steifigkeit bei schlanker Bauweise. Hieraus resultiert eine hohe Belastbarkeit mit geringer Durchbiegung im ausgefahrenen Zustand.

Passend für den Reinraum

Für den Einsatz im Trolleypullator wurden die Schienen an den Reinraum der Halbleiterfertigung angepasst. Entsprechend lieferte Rollon die Teleskopschienen mit einer vernickelten Oberfläche und einem besonderen Schmierfett. Zudem wurde gemäß der Vorgaben von Turbodynamics eine individuelle Anschlagsbegrenzung umgesetzt. „Die Beratung seitens Rollon war während des ganzen Entwicklungsprozesses sehr gut“, schildert Niess. „Bei Fragen oder Problemen erfolgte immer eine sehr prompte Rückmeldung.“ Seit Anfang des Jahres ist der Trolleypullator nun im Einsatz bei einem der US-amerikanischen Schlüsselkunden von Turbodynamics und hat sich dort bereits bewährt.

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